チタン合金スパッタ リング ターゲット

チタン及びチタン合金スパッタ リング ターゲット
1.Materials:

1) PureTitanium ターゲット、Gr1 Gr2

純度: Rangingfrom99.5%

2) tiAl 合金ターゲット

50:50at%、80:20at%、70:30at%、60:40at %

3)ニッケル クロム、Ti Al Cr Al、Si、Al、W Ti、Cu-Ni、Ta X、Mo Nb および Co-鉄-X

2. 形状:

1) RoundTarget

通常のサイズ: dia100X40、dia100X45、dia100X50、dia80X40、dia80X45、dia80X50

寸法: 直径: 50 900 mm * 40 〜 100 ミリメートル

2)PlateTarget:

長さ: 200 〜 400 ミリメートル

幅: 100-200

厚さ: 15 〜 30 ミリメートル

3) TubeTarget:

特別な図面となっています。

3. アプリケーション

真空溶解、特許取得済みの熱・力学的プロセス