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高検出率非冷却熱検出器
  • 高検出率非冷却熱検出器
  • アモルファスシリコン材料は多くの用途でよく知られており、非冷却赤外線検出器の製造には、異なる材料1,2を使用する他の技術よりも簡単な技術から習得しやすいという利点があります。アモルファスシリコンの利点は、良好にマスタリングされた堆積およびエッチング技術を用いてCMOS読み出し集積回路と温度互換性がある。 設計ルールを限界に近づけることにより、アモルファスシリコン技術は、25μmピクセルサイズに基づく検出器アレイの製造を可能にし、熱時定数を5msと低く保ちながらシステムサイズとコストの劇的な改善を約束する。
  • ダリ熱  [検証済み]
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